第625章 方案讲解
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第625章 方案讲解 (第2/3页)深处的量子超算中心建立了高带宽的实时数据链路。
“各位同仁，时间到了，我们直接开始吧。”
周平院长看了一眼手腕上的时间，转头看向左侧的方阵，“按照光刻机从底层基建到最终成型的生产工序，第一棒，先由基础材料与化学提纯组派代表上台，讲解你们的替代思路。”
话音落下，材料组的一位六十多岁的老院士拿着一叠写满了分子式的电子手稿，稳步走上了讲台。
老院士没有说任何场面话，直接将手稿接入全息屏幕，拿起激光笔指着上面的流程图说道：“大祭司，周院长，各位同僚。”
“要在工业基础薄弱的简陋条件下从零造出光刻机，第一步大问题的不是机械，而是高纯度的基础材料。”
“没有纯度达到九个九（99.9999999%）以上的电子级多晶硅，也没有高纯度的特种光刻胶和蚀刻气体，造出来的机器就是一堆废铁。”
“经过我们材料组与化学组一上午的联合推导，我们彻底放弃了大夏目前主流的，需要庞大化工母机支撑的改良何木法与精馏塔提纯工艺，转而设计了一套围绕简单化与小型化展开的阶梯式化学提纯方案。”
老院士切换了一张三维结构图，上面展示着一套看起来有些像实验室放大版烧瓶与离心机组合的奇怪设备。
“请看，我们利用高能声波震荡配合特定配方的有机螯合剂，可以在简陋的常压反应釜内，将普通工业硅中的金属杂质进行定向沉淀。”
“虽然这种方法的单次产出率只有现有工业产线的十分之一，且能耗较高，但它的全套反应设备，只需要一个普通的五金加工厂用常见不锈钢板就能焊接出来！”
“至于光刻胶，我们找到了一种基于天然松香树脂改性的光敏高分子替代配方，虽然分辨率极限只能做到二十八纳米到十四纳米之间，但作为第一代母机的配套耗材，完全足够了！”
台下的牛志学一边听，一边轻轻点头。
虽然他对具体的化学反应方程式不甚了解，但他能听懂普通五金厂就能焊接出来这句话背后的含金量。
材料组汇报完毕后，紧接着上台的，便是吴启明所在的光学镜头组，以及负责极紫外与深紫外光源激发的激光物理组。
正如上午所确立的核心思路一样，后面上台的每一个专业组，在汇报方案时，全都围绕着四个核心关键词展开。
简单化、模块化、小型化、便携化！
光源组砍掉了原本重达数十吨，需要复杂高能激光器轰击锡液滴的极紫外光源系统。
退而求其次，设计了一套结构紧凑的准分子激光深紫外光源模块，并利用特殊的谐波倍频晶体阵列，强行将输出波长压缩到了能够满足高端芯片多重曝光的临界值。
整套光源模块的体积，被他们缩小到了只有两个家用双门冰箱那么大。
光学组则拿出了上午吴启明提出的牺牲寿命换取精度的方案。
他们放弃了需要漫长周期的离子束抛光，改用计算机控制的磁流变液快速研磨法，配合化学气相沉积形成的临时高反射率薄膜。
这套光学镜头组的理论寿命虽然只有一万个小时左右，但它的加工设备门槛降低了整整三个数量级。
当时间来到下午四点钟的时候，压轴出场的机械工程与精密母机设计组代表。
那位年仅四十出头的孙明院士，带着一份让全场学者都眼前一亮的总装工程图纸，走上了讲台。
“大祭司，各位前辈，前面各个组已经把光源、镜头、材料和控制芯片的简化方案都解决了。”
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